Axia ChemiSEM 智能型钨灯丝扫描电镜

Axia ChemiSEM 智能型钨灯丝扫描电镜

【产品描述】
全新一代Axia ChemiSEM扫描电镜，采用独特方法进行样品成分信息的采集、处理和展示；依托先进镜筒技术，保持系统始终处于最佳状态，可聚焦样品采集数据，随时提供高质量图像；采用全开门式设计，耐用性和灵活性更高；可搭载多款扫描电镜软件实现多种自动化功能；简约化设计，全方面性能出色，可表征各种不同类型材料，提供最全面的信息。其成像平台即时可用，集成独特的实时定量能谱面分析功能，成像即刻并融合成分信息，专为快速分析而设计，操作轻松自如。

【特点与应用】
实时成分信息：同步扫描获取多种信号时执行能谱分析，实时检测形貌与元素信息；
成像平台即时可用：只需关注数据采集，不必忧虑电镜条件设置；
更快获得数据：多种成像和扫描策略，优化图像采集效果并提升系统处理能力；
灵活的样品台设计：全开门式设计，大样品可轻松加载到样品仓内，最大样品10 kg；
卓越的成像性能：提供低真空模式和电子束减速模式用于消除荷电效应。

【技术参数】
发射源：预对中钨灯丝

分辨率：
高真空成像
3.0 nm@ 30 kV（SE）；8.0 nm@ 3 kV（SE）
高真空下减速模式
7.0 nm@ 3 kV（BSE）
低真空成像
3.0 nm@ 30 kV（SE）；4.0 nm@ 3 kV（BSE）；10 nm@ 3 kV（SE）

放大倍数：5 ~ 1,000,000×（宝丽来相纸放大）

加速电压范围：200 V ~ 30 kV

探针电流范围：最高可达到2 μA，连续可调

低真空范围：高达150 Pa

X-Ray工作距离：10 mm，EDS检出角：35°

样品室：内宽280 mm，端口10个

样品台：五轴全自动马达驱动
X=120 mm,
Y=120 mm,
Z=55 mm,
T=-15o~90o,
R=360o （连续旋转）
最大样品尺寸 240 x 280 x 128 mm3
最大样品承重 10 kg

探测器系统：
高真空二次电子探测器ETD
可伸缩式背散射探测器BSED
样品室内红外相机CCD
图像导航彩色光学相机Nav-Cam+™
具有ChemiSEM技术的TrueSight X EDS 探测器

控制系统：
操作系统：Windows 10
图像显示：24寸LCD显示器，最高显示分辨率1920×1200
支持用户自定义的GUI，可同时实时显示四幅图像
软件支持Undo和Redo功能