JEOL JIB-4700F 聚焦离子束(FIB)

仪器简介：

JIB-47000F是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。电子光学系统采用场发射电子枪，可以对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体，应用范围广泛。

技术参数：

FIB 分辨率: 5nm, 30kV
SEM分辨率: 1.2 nm（15 kV）1.6 nm（1KV）
FIB束流：最大90nA

SEM束流：最大300nA

气体输入系统 x1-3

主要特点：

1. 监控、切割、组装和三维图像重构连续操作
   2大束流，最大90nA
   3.提供空前稳定的图像
   4.气体注入系统用于刻蚀和沉积
   5.最大装样 150 mm
   6.气锁式样品交换
   7.五轴全对中样品台
   8.多个样品分析接口
   9.三维图像、能谱、EBSD