Name: 場發射掃描電鏡 SEM5000
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場發射掃描電鏡
SEM5000

SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。
先進的鏡筒設計，高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優化的操作和使用流程，無論經驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務。

電子槍類型

高亮度肖特基
場發射電子槍

分辨率

1.0 nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV

放大倍率

1 ~ 2,500,000 x

加速電壓

20 V ~ 30 kV

樣品台

五軸全自動樣品台

產品特點

01

分辨率高，低加速電壓下實現高分辨成像

02

電磁複合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品

03

高壓隧道技術(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證

04

電子光路無交叉，有效的降低系統像差，提升分辨能力

05

水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重複性

06

磁偏轉六孔可調光闌，自動切換光闌孔，無需機械調節，實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

應用領域

產品參數

關鍵參數	分辨率	1.0 nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV
	加速電壓	20 V ～ 30 kV
	放大倍率	1 ～ 2,500,000 x
	電子槍類型	高亮度肖特基場發射電子槍
樣品室	真空系統	全自動控製，無油真空系統
	攝像頭	雙攝像頭（光學導航+樣品倉內監控）
	行程	X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm T: -10°～ +70°, R: 360°
探測器和擴展	標配	鏡筒內高角度電子探測器側向低角度電子探測器
探測器和擴展	選配	平插式中角度背散射電子探測器 STEM自動伸縮式掃描透射探測器樣品交換倉高速束閘和電子束曝光 EDS能譜儀 EBSD背散射衍射 EBIC電子束感生電流 CL陰極熒光高低溫原位拉伸台納米機械手大圖拚接
軟件	語言	中文
	操作系統	Windows
	導航	光學導航、手勢快捷導航
	自動功能	自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

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場發射掃描電鏡 SEM5000

產品詳情

場發射掃描電鏡SEM5000