牛津儀器Ultim Extreme無窗超級能譜

SEM中EDS分析高空間分辨率和低能端性能。將Extreme電子電路、無窗設計與幾何結構和傳感器的優化設計相結合，靈敏度比傳統大面積SDD高15倍。

設備特點

• 可對鋰元素進行檢測和成像
  
• 加速電壓小於2kV時塊狀樣品中的空間分辨率低於10nm
  
• 在低於1kV加速電壓下對材料進行表征
  
• 與浸沒式電鏡相配合，可在高達30kV的加速電壓下收集高質量的元素信息
  

Ultim Extreme 矽漂移探測器是高分辨率場發射掃描電鏡應用的一個突破，可提供遠遠超越傳統微米和納米分析的解決方案。

Ultim Extreme是Ultim Max系列中的一款無窗能譜，晶體面積100mm2，經優化設計來盡可能提高靈敏度和空間分辨率。它采用跑道型結構設計，優化高分辨率場發射掃描電鏡在低加速電壓和短工作距離下工作時的成像和EDS性能，使用Ultim Extreme，EDS的空間分辨率接近掃描電鏡的分辨率。

Ultim Extreme是高分辨率場發射掃描電鏡應用中的一個突破性解決方案。該探測器實現了在低的加速電壓（例如1-3kV）和非常短的工作距離下進行EDS數據采集和元素分析，從而在高SEM分辨率下分析納米材料和表面的元素信息。

高分辨率場發射掃描電鏡可以用來研究更小的納米結構、界面和表面。然而，在這些分析條件下，工作距離很小，工作電壓非很低，束流需要盡可能小以充分利用鏡筒內探測器的電子信號，但現在沒有EDS可提供此類元素表征。Ultim Extreme的出現改變了這種現狀，它專為此類分析而設計：

優化的幾何設計

• 在更小的工作距離下工作
  
• 在傳統EDS安裝接口上使立體角盡可能提高。立體角通常比Ultim 170大5倍，傳感器與試樣的距離縮短為普通探測器的一半
  

無窗設計

• 與任何其他大面積探測器相比，立體角提高的同時，對低能端X射線的靈敏度提高了10～30倍
  
• 新型電子電路提高對極低能量X射線的靈敏度， 增強了高計數率下低能量X射線的分析能力
  
• 將AZtec Live和Tru-Q ®分析引擎結合實現低加速電壓下的數據處理和分析
  
• 優化TruMap用於低電壓譜峰重疊校正
  
• 為了實現這種獨特的幾何結構，Ultim Extreme采用非圓形100mm2傳感器和無窗設計，這種設計已成功用於X-Max N 100TLE，以優化TEM的靈敏度。此外，該探測器采用新型的體積更小的的電子陷阱設計，可在高達7kV的電壓下進行精確定量分析，並在較高能量下進行元素定性分析