冷場發射12極子球差校正透射電鏡

2020年02月14日，日本電子（JEOL Ltd.）總裁兼首席運營官Izumi Oi宣布發布全新原子分辨率分析電子顯微鏡JEM-ARM300F2（GRAND ARM™2），該電子顯微鏡將於2020年2月發布。

■ 主要特點

1 超高空間分辨率與能譜分析的組合優化。

新開發的FHP2物鏡極靴的特點如下：

1）提高了能譜分析效率到兩倍以上。

2）低光學系數，低Cc系數和低Cs系數使得超高空間分辨率和高靈敏度X射線分析能夠在一定範圍的加速電壓下執行。

（保證的STEM分辨率：300kV時53pm，80kV時96pm）^*

*在配置STEM擴展軌跡像差（ETA）校正器時

2 用於物鏡的超寬極靴（WGP）能譜分析靈敏度超高，原位擴展極強。

1）WGP極靴的能譜固體角為2.2 sr。

2）WGP極靴寬度可達6mm，更方便進行各種類型的原位實驗。

3 JEOL開發的12極子球差（Cs）校正器和自動校正軟件。

1）FHP2極靴，GRAND ARM™2在300 kV時的STEM分辨率達到53 pm。

2）WGP極靴，GRAND ARM™2在300 kV時的STEM分辨率達到59 pm。

3）JEOL COSMO™（自動校正軟件）使快速，輕鬆執行像差校正成為可能。

4 新式冷場發射槍（Cold-FEG）。

GRAND ARM™2配備了新式Cold-FEG，可從電子源提供較小的能量散布。穩定性更好。

5 減輕外部幹擾的外殼

這種新外殼是減少外部幹擾（例如氣流，室內溫度變化和噪音）的標準。

■ 主要規格