超高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡

儀器簡介：

      JSM-7600F是日本電子株式會社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發射掃描電鏡，它幾乎集成了當今掃描電鏡的全部前沿技術，最大200nA的大電流在保證高分辨率的同時，得到高速樣品分析結果，空間分辨率極高，對導電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動化程度高，操作直觀方便，可以稱得上是一款高檔次的場發射掃描電鏡。詳情請谘詢日本電子株式會社各地事務所。

技術參數：

1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.3nm(1kV)
2.加速電壓：0.1KV-30kV
3.放大倍數：25-100萬倍
4.樣品室尺寸：最大200mm直徑樣品
5.束流強度：1pA到200nA

主要特點：

1. 長壽命高亮度電子槍,壽命保3年,最大電流400nA以上
   
2. 兼顧超高分辨和大電流
   
3. 無漏磁和半漏磁物鏡可切換
   
4. 標配的五軸馬達驅動全對中樣品台
   
5. 全自動樣品更換氣鎖
   
6. 全自動樣品台監控系統
   
7. 全自動物鏡光闌
   
8. 多通道顯示系統
   
9. 減速系統標準配置
   
10. 能量過濾器標準配置
    
11. 可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭
    
12. 可以選配掃描投射探頭（STEM）