JEOL JIB-4700F 聚焦離子束(FIB)

儀器簡介：

JIB-47000F是集成掃描電鏡和聚焦離子束於一身高性能儀器。電子光學系統采用場發射電子槍，可以對進行實時研磨監控。該儀器又是一個微區觀察、樣品分析、微區研磨的集合體，應用範圍廣泛。

技術參數：

FIB 分辨率: 5nm, 30kV
SEM分辨率: 1.2 nm（15 kV）1.6 nm（1KV）
FIB束流：最大90nA

SEM束流：最大300nA

氣體輸入系統 x1-3

主要特點：

1. 監控、切割、組裝和三維圖像重構連續操作
   2大束流，最大90nA
   3.提供空前穩定的圖像
   4.氣體注入系統用於刻蝕和沉積
   5.最大裝樣 150 mm
   6.氣鎖式樣品交換
   7.五軸全對中樣品台
   8.多個樣品分析接口
   9.三維圖像、能譜、EBSD